ТЕХНОЛОГИЯ БЕСКАЛИБРОВОЧНОЙ ЛАЗЕРНОЙ ФОТОТЕРМИЧЕСКОЙ ДИАГНОСТИКИ ТОНКИХ СЛОЕВ И ПОКРЫТИЙ
Рассмотрены вопросы измерения толщины слоя или покрытия с неизвестными характеристиками. Разработана теоретическая методика, позволяющая определять абсолютную толщину слоя в пределах 50…1000 мкм. Проведены эксперименты, подтверждающие реализуемость методики с погрешностью измерений 10…15 %.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Д.В. Мелюков , А.Г. Григор ьянц
ТЕХНОЛОГИЯ БЕСКАЛИБРОВОЧНОЙ
ЛАЗЕРНОЙ ФОТОТЕРМИЧЕСКОЙ
ДИАГНОСТИКИ ТОНКИХ СЛОЕВ И ПОКРЫТИЙ
Рассмотрены вопросы измерения толщины слоя или покрытия с неизвестными
характеристиками. <...> Разработана теоретическая методика,
позволяющая определять абсолютную толщину слоя в пределах
50… <...> Проведены эксперименты, подтверждающие реализуемость
методики с погрешностью измерений 10… <...> Большинство методик неразрушающей диагностики,
используемых для определения размерных характеристик исследуемого
объекта, требуют знания свойств материала или предварительной
калибровки на идентичный материал [1]. <...> В связи с этим разработка методики,
не требующей знания свойств материала, позволяет расширить
возможности неразрушающей диагностики и является актуальной
научно-технической задачей. <...> Для нагрева объекта применяется
лазерное излучение с переменным диаметром пучка на поверхности
объекта и модулированной выходной мощностью. <...> 2012
Наиболее часто рассматривается проблема определения одной
или нескольких характеристик однородного слоя на поверхности однородного
тела [3]. <...> Общий недостаток существующих теоретических
методик фототермической диагностики при такой проблеме — для
определения всех характеристик слоя (теплопроводности, теплоемкости,
толщины) требуется знать хотя бы одну из них. <...> Далее аналитически исследуется модель тепловой диагностики в
целях разработки бескалибровочной методики измерения всех характеристик
слоя с полностью неизвестными характеристиками на заданной
подложке. <...> 1), состоящую из
однородного изотропного слоя
толщиной Δ, теплопроводностью
kс и объемной теплоемкостью
cс ρс на поверхности
полубесконечной однородной
изотропной подложки с теплопроводностью
kп и объемной
теплоемкостью cп ρп, нагреваемую
источником с частотой модуляции
мощности f, имеющей
гауссовый профиль радиусом r0
(по уровню 1/е) на поверхности
и объемным поглощением с
экспоненциальным <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: