Синтез и свойства нанокристаллических пленок диоксида олова, полученных методом пиролиза аэрозолей
Рассмотрен метод пиролиза аэрозолей формирования нанокристаллических пленок SnO[2] для сенсорных микросистем. Выявлена корреляция между условиями синтеза и размером кристаллитов SnO[2].
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
А. М. Метальников, В. И. Кондрашин, В. А. Соловьев
СИНТЕЗ И СВОЙСТВА НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ
ПЛЕНОК ДИОКСИДА ОЛОВА, ПОЛУЧЕННЫХ
МЕТОДОМ ПИРОЛИЗА АЭРОЗОЛЕЙ
Аннотация. <...> Рассмотрен метод пиролиза аэрозолей формирования нанокристаллических
пленок SnO2 для сенсорных микросистем. <...> Выявлена корреляция
между условиями синтеза и размером кристаллитов SnO2. <...> Нанокристаллические пленки диоксида олова в настоящее время широко
применяются в качестве прозрачных электропроводящих покрытий, а также
в качестве чувствительных слоев в датчиках газов для экологического мониторинга,
контроля концентрации токсичных и взрывоопасных газов в воздухе. <...> Чувствительность газовых сенсоров на основе SnO2 зависит от размеров
кристаллитов наноструктурированного газочувствительного слоя (табл. <...> Она может увеличиваться в десятки раз при приближении размеров отдельного
кристаллита к значению, равному удвоенной длине Дебая:
LD qn
0
2
kT
0
,
где ε – диэлектрическая проницаемость; ε0 – диэлектрическая постоянная;
n0 – концентрация носителей заряда; e – заpяд электрона; k – постоянная
Больцмана; T – температура. <...> Таблица 1
Газовая чувствительность SnO2
Контролируемый
газ
H2
CO
нием
237
Размер
зерна, нм
Чувствительность
S, отн. ед. <...> Поволжский регион
Gn
SL
Gn
00
,
D
где G – изменение электропроводности электропроводного слоя под действием
адсорбированного газа; G0 – исходное значение электропроводности;
n – изменение концентрации носителей заряда. <...> В связи с этим важную роль играет процесс получения чувствительного
слоя. <...> В настоящее время одним из самых распространенных методов получения
пленок является спрей-пиролиз аэрозолей вследствие своей простоты и
технологичности. <...> Эскиз установки спрей-пиролиза
с системой распыления воздуха под давлением
Свойства нанокристаллических пленок, включая толщину, размеры и
ориентацию кристаллитов, электрическое сопротивление, газовую чувствительность,
определяются следующими основными параметрами <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: