Рассмотрены вопросы влияния эффекта теплопереноса на процесс травления вольфрамовой заготовки при изготовлении СТМ-зондов. Приведены результаты численных исследований для различных температур втекающей травящей жидкости. Показано, что геометрические параметры острия поддаются существенной корректировке путем изменения интенсивности подачи травящего раствора и его температуры.