Вакуумное ультрафиолетовое излучение плазмы, возбужденной на частотах 10–80 кГц в смеси паров ртути и инертных газов

Разработана методика точных измерений резонансного УФ-излучения на длине волны 185 нм ртутного разряда низкого давления на частотах 10–80 кГц. Проведено экспериментальное исследование влияния частоты разрядного тока, давления и состава смеси инертных газов на излучательные характеристики разряда. Показано, что максимальная мощность и КПД генерации излучения резонансной линии 185 нм достигается при процентном соотношении неона и аргона 30/70.

• Попов О.А.
• ЛЕВЧЕНКО В.А.
• ШУНКОВ Ю.Е.

• Технические науки. Промышленность
• Физико-математические науки
• Социальные (общественные) науки