Распределение неосновных носителей заряда после их диффузии от тонкого планарного источника в полубесконечном полупроводниковом материале с дефектами на поверхности
Методами математического моделирования рассмотрена задача диффузии неосновных носителей заряда (ННЗ), генерированных в полупроводнике широким электронным пучком. Изучено влияние дефектов на поверхности полупроводника на распределение ННЗ после их диффузии от тонкого планарного источника в полубесконечном полупроводнике [1]. Расчеты проведены для различных материалов полупроводниковой электроники.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Распределение неосновных носителей заряда после их диффузии…
УДК 517.926; 51-73; 537.533.9
Распределение неосновных носителей заряда после
их диффузии от тонкого планарного источника
в полубесконечном полупроводниковом
материале с дефектами на поверхности
В. <...> К.Э. Циолковского,
Калуга, 248023, Россия
Методами математического моделирования рассмотрена задача диффузии неосновных
носителей заряда (ННЗ), генерированных в полупроводнике широким электронным
пучком. <...> Изучено влияние дефектов на поверхности полупроводника на
распределение ННЗ после их диффузии от тонкого планарного источника в полубесконечном
полупроводнике [1]. <...> Расчеты проведены для различных материалов
полупроводниковой электроники. <...> Ключевые слова: распределение неосновных носителей заряда, дефект, полупроводниковые
материалы, электронный пучок. <...> Согласно так называемой модели независимых источников,
на диффузию генерированных электронным пучком неравновесных
ННЗ из любого микрообъема проводника не оказывают влияния
другие электроны или дырки (из других микрообластей материала). <...> В этом случае для одномерной диффузии в полубесконечный
полупроводник распределение избыточных ННЗ по глубине задается
выражением
z ; z — координата, отсчитываемая от
0
pzpz z, ) ,
() ( 00
0
dz
где функция p(, 0)zz описывает распределение по глубине ННЗ, ге0,
плоской
поверхности в глубь проводника. <...> Распределение p(, 0)zz
находится как решение дифференциального уравнения
2 00
Ddp z z p z z( , )
(, )
dz
с граничными условиями
1
2 zz z 0
0
()( )
нерированных плоским бесконечно тонким источником, находящимся
на глубине 0z , <...> В.В. Калманович, М.А. Степович, Е.В. Серегина, А.К. Горбунов
Ddp z z(, )
0
dz
z0
где ρ(z) — число ННЗ, генерируемых вследствие внешнего воздействия
в единицу времени в тонком слое мишени на глубине z (значения ρ(z)
могут быть определены из соотношения для плотности энергии ρ*(z),
выделяемой в этом слое мишени в единицу времени (делением ρ*(z) на
энергию <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: