Оптимизация траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя

вакуумная дуга катодное пятно вакуумнодуговой испаритель выработка ресурс коэффициент использования материала

Эвакоспособность в номенклатуре свойств объектов автобронетанковой техники, Программное обеспечение для оценки эффективности однотипных научно-исследовательских работ, ...

УДК 67.05 Оптимизация траектории движения катодного пятна для повышения равномерности выработки катода вакуумного дугового испарителя Д.В. Духопельников, Д.В. Кириллов, <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Проведен анализ профиля выработки катода в торцевом дуговом испарителе с арочным магнитным полем и управляемой траекторией движения катодного пятна. <...> Профиль выработки катода при фиксированном положении траектории катодного пятна аппроксимировался кривой Гаусса. <...> Найден оптимальный шаг смещения катодного пятна по радиусу: он соответствует 1/3 ширины зоны выработки при фиксированном положении траектории катодного пятна. <...> При этом неравномерность выработки катода составляет менее 3 %. <...> Современные технологии нанесения вакуумнодуговых покрытий предполагают использование дуговых испарителей с управляемым движением катодного пятна в арочном магнитном поле [1–3]. <...> При этом увеличение индукции магнитного поля позволяет значительно снизить массовую долю и размер капель в продуктах эрозии катода и улучшить характеристики покрытия [4, 5]. <...> Однако при увеличении индукции арочного магнитного поля уменьшается зона выработки, превращаясь в узкую канавку [6]. <...> Это приводит к существенной неравномерности выработки материала катода и снижению коэффициента использования материала катода. <...> 1) изменять кривизну линий арочного магнитного поля (и, следовательно, форму траектории движения катодного пятна); <...> Сложность заключается в выборе оптимального закона перемещения траектории катодного пятна по поверхности катода и в подборе оптимального шага смещения катодного пятна по радиусу. <...> Д.В. Духопельников, Д.В. Кириллов, В.А. Рязанов, Чжо Вин Наинг В работе [6] изучалось влияние значения индукции арочного магнитного поля на ширину и форму выработки катода дугового испарителя. <...> Дуговой испаритель был оснащен электромагнитной системой, состоящей из двух катушек, которая создает на поверхности катода арочное магнитное <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт