РУсскоязычный Архив Электронных СТатей периодических изданий
Инженерный журнал: наука и инновации/2013/№ 5/
В наличии за
50 руб.
Купить
Облако ключевых слов*
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:

Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов

Для обеспечения безмасляной откачки вакуумных систем, определяемой многообразием технологических процессов, проводимых в условиях вакуума, в которых играет ведущую роль выбор средств системы откачки, в данной работе проведен анализ основных принципов выбора высоковакуумной системы откачки в зависимости от условий эксплуатации. Приведены основные конструкции современных комбинированных (гибридных) турбомолекулярных вакуумных насосов. В исследуемых комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосах в качестве форвакуумных ступеней в основном устанавливаются молекулярные проточные части. Проведен анализ перспектив развития исследуемых насосов. В качестве альтернативы использования молекулярных ступеней рассматриваются проточные части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса, которые обладают рядом преимуществ по сравнению с молекулярными проточными частями. Проведено исследование течения газа в каналах молекулярной ступени комбинированного турбомолекулярного вакуумного насоса в вязкостном режиме течения с помощью программного комплекса гидрогазодинамики STAR-CCM+. Расчетные данные приведены для всей проточной части молекулярного вакуумного насоса с учетом влияния зазора между статором и ротором насоса.

Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
УДК 621.52 Перспективы развития комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосов К.Е. Демихов, Н.К. Никулин, Е.В. Свичкарь МГТУ им. <...> В исследуемых комбинированных турбомолекулярных вакуумных насосах в качестве форвакуумных ступеней в основном устанавливаются молекулярные проточные части. <...> В качестве альтернативы использования молекулярных ступеней рассматриваются проточные части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса, которые обладают рядом преимуществ по сравнению с молекулярными проточными частями. <...> Проведено исследование течения газа в каналах молекулярной ступени комбинированного турбомолекулярного вакуумного насоса в вязкостном режиме течения с помощью программного комплекса гидрогазодинамики STAR-CCM+. <...> Ключевые слова: молекулярный вакуумный насос, молекулярно-вязкостный вакуумный насос, вакуум, вязкостный режим течения, течение газа, винтовой канал, геометрические параметры. <...> В качестве основных параметров сравнения вакуумных насосов (ВН) можно выделить: <...> 1) откачные параметры (быстрота действия, предельно остаточное давление, диапазон рабочих давлений) вакуумного насоса; 1 <...> Важнейшими параметрами ВС, которые приходится определять при практическом использовании вакуумной техники, являются давление и скорость откачки газа из вакуумной камеры, а также предельное остаточное давление насоса. <...> Но ограничиться только этими параметрами невозможно, следует учесть также возможность загрязнения рабочей среды парами углеводородов или другими веществами, энергетические затраты, селективность откачки, необходимость регенерации и предварительной откачки, т. е. наличие форвакуумной системы, и многое другое. <...> Анализ рынка выявляет основные ВН, которые используются для получения высокого вакуума в откачиваемой системе: • турбомолекулярные вакуумные насосы (ТМН), в том числе комбинированные турбомолекулярные вакуумные насосы; • криосорбционные вакуумные насосы; • электрофизические <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы: