Излучение плазмы хлористого водорода

эмиссионная спектроскопия плазмы хлористый водород излучение плазмы плазмы хлористого водорода возбуждение атомов

Физико-химические характеристики пористого стекла, О-алкилирование фенола и спиртов аллилбромидом и 1, 2, 3-тригалогенпропанами, ...

1,3,4,6-Тетракарбонильные системы и родственные структуры со сближенными - и -диоксофрагментами: синтез, строение, реакции с нуклеофилами и биологическая активность // Материалы Первой МежКафедра химии УДК 537.525 <...> А.А. Давлятшина, С.А. Пивоваренок, А.В. Дунаев, А.М. Ефремов, В.И. Светцов ИЗЛУЧЕНИЕ ПЛАЗМЫ ХЛОРИСТОГО ВОДОРОДА (Ивановский государственный химико-технологический университет) e-mail: efremov@isuct.ru Проведен анализ спектра излучения плазмы HCl в условиях тлеющего разряда постоянного тока. <...> Показано, что варьирование давления газа (р=40–200 Па) при постоянном токе разряда приводит к изменению условий возбуждения атомов хлора и водорода. <...> Исследована возможность контроля относительных изменений концентраций атомов по отношениям интенсивностей их излучения. <...> Ключевые слова: плазма, излучение, интенсивность, возбуждение, концентрация ВВЕДЕНИЕ Низкотемпературная газоразрядная плазма галогенводородов HX (X = Cl, Br, I) нашла широкое применение в технологии микро- и наноэлектроники при проведении процессов «сухого» травления и очистки поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев [1]. <...> Эффективная реализация и оптимизация процессов плазмохимического травления требует знания взаимосвязей между внешними (задаваемыми) параметрами плазмы, ее параметрами и составом, 22 определяющими стационарные плотности потоков активных частиц на обрабатываемую поверхность. <...> Одним из основных методов получения такой информации является оптическая эмиссионная спектроскопия плазмы [1, 2]. <...> Целью данной работы являлся анализ спектра излучения плазмы хлористого водорода (идентификация основных излучающих частиц и соответствующих оптических переходов), а также исследование возможностей контроля относительных концентраций частиц по соответствующим интенсивностям излучения. <...> В качестве внешних (задаваемых) параметров разряда выступали ток разряда (ip=25 мА), давление газа (р=40–200 Па) и расход газа (q=2 см3/сек при нормальных <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт