ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЕ КОМПОНЕНТОВ В ПРОЦЕССЕ ФОРМИРОВАНИЯ ПЛЕНКИ ТИТАНАТА ЖЕЛЕЗА НА МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ

Пленки титаната железа получали методом последовательного магнетронного распыления металлов Ti и Fe на монокристаллический кремний с последующим импульсной фотонной обработкой в вакууме, на воздухе и термооксидированием. Распределения компонентов по глубине образцов исследовали методом вторично-ионной масс-спектрометрии, а фазообразование — методом рентгенофазового анализа. Установлено, что процесс послойного магнетронного распыления железа и титана на кремний сопровождается гетеродиффузией компонентов через межфазные границы Fe/Ti и Ti/Si. Импульсная фотонная обработка пленочной системы Fe—Ti в вакууме приводит к образованию силицида железа, а в атмосфере воздуха — к формированию оксидной пленки, состоящей из FeO и Ti3O5. Формирование титанатов железа состава Fe2Ti3O9, FeTiO3 происходит в процессе термооксидирования в потоке кислорода при температуре 973 К.

• Герасименко Ю.В.
• Бабушкина Е.В.
• Логачева В.А.
• Ховив А.М.
• Афонин Н.Н.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Естественные науки
• Науки о человеке