СИНТЕЗ И ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ПЛЕНОК СЛОЖНЫХ ОКСИДОВ НА ОСНОВЕ ОЛОВА И НИОБИЯ

На подложках монокристаллического кремния и кварца синтезированы пленки сложного оксида состава Sn2Nb2O7. Образцы получали магнетронным осаждением ниобия, последующим термооксидированием и модифицированием оксида ниобия NbO2 оловом путем отжига пленочной системы Sn-NbO2 в вакууме и в потоке кислорода при Т =773 К. Методом РОР определены концентрационные распределения компонентов в пленке, свидетельствующие о диффузионном проникновении олова в пленку оксида ниобия в процессе вакуумного отжига. Методами РЭМ и АСМ установлено, что с увеличением температуры отжига происходит укрупнение кристаллитов при неизменно гладкой поверхности пленки со значением шероховатости ~ 10 нм. Пленка оксида ниобия оптически более прозрачна, чем пленка после вакуумного отжига системы Sn-NbO2, и менее прозрачна, чем пленка сложного оксида Sn2Nb2O7, полученная в ходе последующего термооксидирования. Определены значения энергий прямых переходов: 4.02 эВ для плёнки NbO2 и 4.19 эВ для пленки на основе оксида ниобия Nb2O5 гексагональной модификации и сложного оксида состава Sn2Nb2O7

• Логачева В.А.
• Ховив А.М.
• Прибытков Д.М.
• Афонин Н.Н.
• Лукин А.Н.
• Шрамченко Ю.С.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Естественные науки
• Науки о человеке