С помощью численного моделирования проанализирована структура объемного заряда на границе полуизолирующей подложки, допированной хромом, и канала в GaAs ПТШ. Использована четырехуровневая модель полуизолирующего GaAs с учетом глубоких уровней. Показана определяющая роль глубоких акцепторных уровней в формировании объемного заряда