На примере математического моделирования оптимизации термического цикла нагрева тонкоплёночного полимера при ионно-плазменной металлизации разработан достаточно общий подход для решения аналогичных задач при выращивании толстых покрытий из интенсивных тепловых потоков напыляемого материала. Получено компактное математическое соотношение между технологическими параметрами режима напыления для определения условий стабилизации термического цикла напыления. Результаты использованы для получения тонкоплёночных гибких электронагревателей с наноструктурным резистивным слоем для систем активного терморегулирования бортовой аппаратуры космических аппаратов.