В работе рассмотрена технология вакуумного ионно-плазменного травления газодинамических канавок на поверхности колец торцовых уплотнений. Теоретически рассчитаны профили канавок для некоторых типовых законов изменения угловой скорости экранирующей маски. Показана возможность получения дна газодинамических канавок с наклоном в радиальном и тангенциальном направлениях.