Основные дефекты в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремнияТаиров Ю.М.,Авров Д.Д.,Лебедев А.О.
|
|
Основные дефекты в слитках и эпитаксиальных слоях карбида кремния II. Микропоры. Малоугловые границы. Дефекты упаковкиТаиров Ю.М.,Авров Д.Д.,Лебедев А.О.
|