Влияние отжига на морфологию поверхности и выходные параметры резистивных структурПечерская Р.М.,Аношкин Ю.В.,Аверин И.А.
|
|
ОСОБЕННОСТИ ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ СТРУКТУРЫ «НИТРИД АЛЮМИНИЯ НА КАРБИДЕ КРЕМНИЯ» ДЛЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТАПечерская Р.М.,Гурин С.А.
|