Особенности управляемой технологии углеродных нанотрубок
Исследовано влияние различных факторов на рост углеродных нанотрубок (УНТ). Показано, что скорость роста массива на катализаторе FeNiCo20/Al толщиной менее 10 мкм замедляется. Концентрация ферроцена в газовой смеси оказывает существенное влияние на рост УНТ. Снижение концентрации ферроцена увеличивает свободную энергию расплава и приводит к росту нанотрубок меньшего диаметра и меньшее число стенок - 2 или 3. Повышение концентрации ферроцена выше 1% приводит к снижению качества растущих нанотрубок. Проанализированы технологические возможности формирования отдельно стоящих УНТ.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Исследовано влияние различных факторов на рост углеродных
нанотрубок (УНТ). <...> Показано, что скорость роста массива на катализаторе
FeNiCo20/Al толщиной менее 10 мкм замедляется. <...> Концентрации ферроцена
в газовой смеси оказывает существенное влияние на рост УНТ. <...> Снижение
концентрации ферроцена увеличивает свободную энергию расплава и приводит
к росту нанотрубок меньшего диаметра и меньшее число стенок – 2 или 3. <...> Исследования последних лет показали, что рост углеродных нанотрубок
(УНТ) можно успешно совмещать с процессами кремниевой планарной
технологии [1, 2]. <...> Для успешной реализации данной задачи необходимо, чтобы рост УНТ был
управляемым с предсказуемыми параметрами. <...> Росту многостенных УНТ благоприятствуют,
как правило, температуры от 500 до 1000 С, а рост одностенных углеродных
нанотрубок (ОУНТ) происходит при более высоких температурах, хотя в последнее
время сообщалось о росте ОУНТ при 750 С [6, 7]. <...> Влияние подслоя катализатора
Были изготовлены образцы массивов УНТ, топология которых представляла
ступенчатую змейку. <...> Основу змейки составляли меандры
FeNiCo20/Al, где толщина Al равна 10 нм для каждого образца, а толщина
пленки катализатора FeNiCo20, напыленной на Al, составляла на I образце
1,5 нм, на II образце 2,5 нм и на III образце 3,5 нм. <...> На
всех образцах были получены растровым электронным микроскопом (РЭМ)
изображения, по которым определялась длина нанотрубки в массиве. <...> Экспериментальные
данные показывают, что формирование топологического рисунка
на поверхности образца приводит к уменьшению скорости роста массивов
УНТ, причем с уменьшением толщины каталитической пленки падает и скорость
роста УНТ. <...> Полученный результат показывает влияние геометрических
размеров топологического рисунка на скорость роста УНТ. <...> Высота массива составила 68 мкм, хотя толщина
подслоя катализатора составляла 1,5 нм. <...> Зависимость высоты массива от толщины пленки FeNiCo20
Для подтверждения влияния толщины пленки на скорость роста УНТ
был <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: