ТЕХНОЛОГИЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СВЧ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ НА ОСНОВЕ ПЛЕНКИ AlN, НАНЕСЕННОЙ НА ПОДЛОЖКУ ИЗ СИНТЕТИЧЕСКОГО МОНОКРИСТАЛЛА АЛМАЗА

Разработана технология магнетронного напыления пьезоэлектрических пленок из нитрида алюминия и металлических электродов на подложки из синтетического монокристалла алмаза. Для создания электродных структур с заданной топологией применялись методы фотолитографии. Структура пленок изучалась методами рентгеновской дифракции, атомно-силовой и растровой электронной микроскопии.

• ВОЛКОВА П.
• Бормашов В.С.
• Голованов А.В.
• Гордеев Г.И.
• Квашнин Г.М.
• Сорокин Б.П.
• Теличко А.В.

• Искусство. Декоративно-прикладное искусство. Фотография. Музыка. Игры. Спорт

• Социальные (общественные) науки
• Естественные науки