РУАЭСТ (RUAEST)
При совместном использовании методов диагностики и моделирования плазмы выявлены зависимости вероятностей гетерогенной рекомбинации атомов хлора и водорода на стекле в зоне плазмы от начального состава смесей HCl с Ar, He, H2, Cl2 и O2.