ФОРМИРОВАНИЕ РЕЛЬЕФНЫХ СТРУКТУР НА ПОВЕРХНОСТИ МОНОКРИСТАЛЛОВ СИНТЕТИЧЕСКОГО АЛМАЗА МЕТОДОМ РЕАКТИВНОГО ИОННОГО ТРАВЛЕНИЯ

Методом лазерной литографии и реактивного ионного травления на поверхности монокристаллов синтетического алмаза получены рельефные структуры высотой до 2 мкм. Определены скорости и селективности травления к алюминию и хрому в плазмах различного газового состава. Наибольшая скорость реактивного ионного травления (70 нм/мин) достигнута при использовании плазмы на основе гексафторида серы, при этом наибольшая селективность травления (14) наблюдалась к хрому.

• Бланк В.Д.
• ВОЛКОВА П.
• Бормашов В.С.
• Буга С.Г.
• Голованов А.В.
• Тарелкин С.А.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Социальные (общественные) науки
• Естественные науки