Описан простой, дешевый и безопасный метод получения тонких углеродных пленок. Возможность получать графеноподобные структуры на диэлектриках, минуя стадию переноса с поверхности металла, имеет важное практическое значение. Основной задачей данной работы было исследование влияния добавок воды на процесс осаждения углерода из паров этанола, а также на свойства полученных пленок. Изучены оптические и электрические характеристики материала, получены спектры комбинационного рассеяния. Исходя из представленных данных, пленки можно рекомендовать для испытания в качестве транзисторов или сенсоров.