ИССЛЕДОВАНИЕ ЛОКАЛЬНЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ МЕТОДОМ НАНОИНДЕНТИРОВАНИЯ

Предложена аналитическая модель пластического взаимодействия токопроводящего индентора с исследуемым образцом. Экспериментальная проверка модели осуществлена на сканирующем нанотвердомере «НаноСкан» и зондовой нанолаборатории «ИНТЕГРА», с использованием инденторов из легированного бором монокристалла алмаза. Показано, что изменение значения тока дает дополнительную информацию о взаимодействии индентора с материалом. Обсуждается влияние изменений удельного сопротивления и контактной площади, происходящих при фазовых переходах в кремнии, на измеряемое значение тока.

Авторы

Тэги

сканирующая зондовая микроскопия наноиндентирование легированный бором полупроводниковый алмаз электрический контакт сопротивление растекания пьезорезонансный зонд фазовый переход кремний механические свойства электрические свойства

Тематические рубрики

Прикладные науки. Медицина. Технология

Предметные рубрики

В этом же номере:

ЗАВИСИМОСТЬ ЭФФЕКТИВНОСТИ АЛЬТЕРНАТИВНОГО ЖИДКОФАЗНОГО СИЛИЦИРОВАНИЯ УУКМ ОТ ДАВЛЕНИЯ В РЕАКТОРЕ, НЕКОТОРЫЕ АСПЕКТЫ МЕХАНИЗМА УДАЛЕНИЯ СЕРЫ В ПРОЦЕССЕ КОКСОВАНИЯ ПРЯМОГОННОГО НЕФТЯНОГО СЫРЬЯ В ПРИСУТСТВИИ УГЛЕРОДНЫХ ДОБАВОК, ...

Резюме по документу**

** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

Похожие документы из РУАЭСТ
|
Похожие документы из Руконт

ИССЛЕДОВАНИЕ ЛОКАЛЬНЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СВОЙСТВ И ФАЗОВЫХ ПЕРЕХОДОВ МЕТОДОМ НАНОИНДЕНТИРОВАНИЯ

Помощь:

Участники: