ФОРМИРОВАНИЕ МУЛЬТИСЛОЙНЫХ СТРУКТУР ZnS/SiO2 ВЧ МАГНЕТРОННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ НА МОДЕРНИЗИРОВАННОЙ УСТАНОВКЕ КАТОД-1М
Представлены результаты по использованию разработанного программно-аппаратного комплекса для получения мультислойных структур ZnS/SiO2 с заданными толщинами слоев.