Приведены результаты исследований структурных свойств тонкопленочных систем CdO и Cd-ЛЦУ методами спектроскопии комбинационного рассеяния света, дифрактометрии, рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Проведенные эксперименты свидетельствуют о состоятельности применения метода синтеза тонких пленок оксида кадмия путем термического окисления.