РУАЭСТ (RUAEST)
Тест-объекты для контроля фотоприемных устройств в инфракрасной области спектра
Рассмотрены вопросы создания тест-объектов для стендов контроля и измерения параметров инфракрасных фотоприемных устройств и тепловизионных систем. Разработаны технологии изготовления и проведены оценки и измерения их параметров. Тест-объекты (Т-О) представляют собой решетку из нескольких щелей, выполненных в непрозрачном материале. Ширина щелей от 60 до 600 мкм, и расположены они с шагом (периодом) от 120 до 1200 мкм соответственно. Точность геометрических размеров и неровность краев элементов топологии тест-объектов не должны быть хуже 5 < 10 мкм. Толщина, материал и технология должны обеспечивать достаточную равномерность распределения температуры в плоскости тест-объекта при нагреве его при помощи нагревателя, расположенного на его периферии. Одна из поверхностей (обращенная к излучателю) должна иметь максимально высокую отражательную способность для исключения нагрева этим излучателем, другая (обращенная к фотоприемнику) – максимально высокую излучательную способность в спектральной области чувствительности фотоприемника, чтобы обеспечить максимально возможное приближение к спектру излучения «абсолютно черного тела» в этой области. Результаты экспериментов показали, что коэффициент отражения медной фольги существенно зависит (естественно) от степени шероховатости ее поверхности, которая увеличивается с увеличением толщины. Это определяется как тем, что расширяется диаграмма направленности отраженного излучения, так и тем, что при многократном отражении увеличивается доля поглощенного излучения. Измерения проводились на инфракрасном спектрофотометре ИКС-29 с приставкой зеркального отражения ИПО-22.