РЕНТГЕНОЭЛЕКТРОННОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ СОСТАВА ИСХОДНОЙ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ НА ИЗМЕНЕНИЯ ЭЛЕКТРОННОГО СТРОЕНИЯ ПЛЕНОК ГЕКСАГОНАЛЬНОГО НИТРИДА БОРА, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ PECVD ИЗ БОРАЗИНА

Пленки гексагонального нитрида бора синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой смеси боразина и аммиака или гелия на подложке Si(100). Методом РФЭС исследованы изменения электронного строения и химического состава пленок в зависимости от состава исходной газовой смеси. Установлено, что химический состав полученных образцов зависит от используемого газа.

Авторы

Тэги

гексагональный нитрид бора рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия электронное строение тонкие пленки PECVD боразин наностенки.

Тематические рубрики

Прикладные науки. Медицина. Технология

Предметные рубрики

В этом же номере:

МОЛЕКУЛЯРНАЯ И КРИСТАЛЛИЧЕСКАЯ СТРУКТУРА 1,2-БИС(МЕТИЛ-ONN-АЗОКСИ-ОКСИ)ЭТАНА, ЭПР ИОНОВ МЕДИ В КРИСТАЛЛАХ Pb2МоO5, ...

Резюме по документу**

Пленки гексагонального нитрида бора синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой смеси боразина и аммиака или гелия на подложке Si(100). <...> Методом РФЭС исследованы изменения электронного строения и химического состава пленок в зависимости от состава исходной газовой смеси. <...> Установлено, что химический состав полученных образцов зависит от используемого газа. <...> Пленки гексагонального нитрида бора синтезированы методом плазмохимического осаждения из газовой смеси боразина и аммиака или гелия на подложке Si(100). <...> Методом РФЭС исследованы изменения электронного строения и химического состава пленок в зависимости от состава исходной газовой смеси. <...> Установлено, что химический состав полученных образцов зависит от используемого газа. <...>

** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

Похожие документы из РУАЭСТ
|
Похожие документы из Руконт

Помощь:

Участники: