Распределение температуры по длине термомеханического актюатора

микрозеркальный элемент; тепловой микроактюатор.

Математическое моделирование влияния концентрации примеси на величину тока стока КНИ полевого датчика Холла, Уменьшение фазового шума источников СВЧ-колебаний путем совместного использования автогенераторов и умножителей частоты, ...

УДК 621.38.049.77 Распределение температуры по длине термомеханического актюатора <...> А.М. Терещенко, И.М. Бритков Национальный исследовательский университет «МИЭТ» Temperature Distribution along Length of Thermomechanical Actuator S.P.Timoshenkov, V.K.Samoylikov, S.S.Evstafev, A.M.Tereshchenko, I.M.Britkov National Research University of Electronic Technology, Moscow Представлены результаты разработки и исследования характеристик микрозеркального элемента, приводимого в движение тепловыми микроактюаторами. <...> Показано, что для расчета стрелы прогиба микрозеркального элемента необходимо учитывать распределение температуры перегрева по длине элемента. <...> Выполнен расчет температуры перегрева, определена эффективная температура перегрева и проведено сравнение полученных значений с экспериментальными данными. <...> The results of investigation and development of the characteristics of the micromirror element, driven by a thermal microactuator, have been presented. <...> It has been shown that for calculating the micromirror element deflection it is crucial to take into consideration the temperature distribution along the element length. <...> Такие системы получили название микрооптоэлектромеханических систем (МОЭМС). <...> Сфера применений МОЭМС обширна и включает в себя оптические переключатели [1], микропроекционные системы (так называемые пикопроекторы) для портативных электронных устройств [2], оптические сканеры [3], эндоскопы [4], системы управления полупроводниковыми лазерами [5], С.П. Тимошенков, В.К. Самойликов, С.С. Евстафьев, А.М. Терещенко, И.М. Бритков, 2015 Известия вузов. <...> С.П. Тимошенков, В.К. Самойликов, С.С. Евстафьев и др. системы адаптивной оптики [6] и прочее. <...> Ключевым компонентом МОЭМС является микромеханическое зеркало, представляющее собой отражающий элемент, установленный на подвижном подвесе. <...> Микромеханические зеркала могут приводиться в движение с помощью актюаторов, построенных на различных физических воздействиях (электростатических, термомеханических, пьезоэлектрических или электромагнитных). <...> Каждый тип актюатора имеет и достоинства, и недостатки, поэтому его тип следует выбирать под конкретную задачу МОЭМС. <...> В ходе решения задач <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт