СТРУКТУРНЫЕ ДЕФЕКТЫ В ПЛЕНКАХ SiC,N,Hz, ПОЛУЧЕННЫХ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКИМ ОСАЖДЕНИЕМ ИЗ ПАРОВ ГЕКСАМЕТИЛДИСИЛАЗАНА

Методом спектроскопии электронного парамагнитного резонанса исследованы парамаг-нитные центры в пленках SiCxNyHz, полученных плазмохимическим осаждением из па-ров гексаметилдисилазана. Обнаружено, что в пленках присутствуют оборванные связи на атоме углерода, причем их концентрация значительно увеличивается с ростом темпе-ратуры осаждения. Методом спектроскопии комбинационного рассеяния света определена область температур осаждения, внутри которой пленки содержат кластеры углерода. Установлено сходство в свойствах пленок, синтезированных при высоких темпера-турах осаждения, и пленок, изначально осажденных при низких температурах и затем подвергнутых отжигу. Результаты исследований интерпретированы с использованием известных данных о составе и структуре пленок, а также имеющихся в литературе пред-ставлений.

• Надолинный В.А.
• Файнер Н.И.
• Кожемяченко СИ.
• Румянцев Ю.М.
• Шаяпов В.Р.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Физико-математические науки
• Естественные науки