РУАЭСТ (RUAEST)
Облако ключевых слов*
- "набор моделей"
- "формирование нанокомпозитов"
- "кремниевые наночастицы"
- "многоугловая эллипсометрия"
- "формирующиеся системы"
- "отжиг"
- "фазовый-структурные превращения"
- "окисление пленки"
- "кислородсодержащая среда"
- "фазовое разложение"
- "многоугловой"
- "фазовый-структурный"
- "пленка siox"
- "исследование формирования"
- "метод эллипсометрии"
- "эллипсометрическое исследование"
- "экспериментальные результаты"
- "термический отжиг"
- "siox"
- "оптическая модель"
- "интервал температуры"
- "осажденные пленки"
- "микроструктура систем"
- "эллипсометрия"
- "нок siox"
- "влияние процессов"
- "воздушная среда"
- "49011"
- "конкурирующий процесс"
- "эллипсометрический"
* - вычисляется автоматически
Недавно смотрели:
-
ПОДАВЛЕНИЕ РЕАКЦИИ ТЕРМИЧЕСКОГО РАЗЛОЖЕНИЯ ЛЕСНЫХ ГОРЮЧИХ МАТЕРИАЛОВ ПАРОКАПЕЛЬНЫМ ВОДЯНЫМ ПОТОКОМ
-
Техника, технетика и биоэволюция
-
МЕТОД ЗОММЕРФЕЛЬДА-ЛЕНЦА В ОТО И ЕГО ОБОБЩЕНИЕ
-
Взаимодействие 6- (4-меоксифенил) -4, 5-дигидро-3 (2Н) -пиридазинона с хлорсульфоновой кислотой
-
ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОКОМПОЗИТОВ ОТЖИГОМ ПЛЕ¨НОК SiOx В КИСЛОРОДСОДЕРЖАЩЕЙ СРЕДЕ
ЭЛЛИПСОМЕТРИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ ФОРМИРОВАНИЯ НАНОКОМПОЗИТОВ ОТЖИГОМ ПЛЕ¨НОК SiOx В КИСЛОРОДСОДЕРЖАЩЕЙ СРЕДЕ
Методом многоугловой эллипсометрии изучены фазово-структурные превращения, протекающие при термическом отжиге в воздушной среде вакуумно осаждённых плёнок SiOx. Анализ экспериментальных результатов с помощью набора оптических моделей, учитывающих неоднородность и анизотропность, позволил получить сведения о влиянии конкурирующих процессов фазового разложения и окисления плёнок SiOx на макро- и микроструктуру формирующихся систем в интервале температур отжига 650–1000 ◦С.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
- Естественные науки
- Технические науки. Промышленность
- Физико-математические науки
- Социальные (общественные) науки
В этом же номере:
ОПТИМАЛЬНЫЕ ОЦЕНКИ СКОРОСТИ ПО КРИТЕРИЮ МАКСИМАЛЬНОГО ПРАВДОПОДОБИЯ ДЛЯ ЛАЗЕРНОЙ ДОПЛЕРОВСКОЙ АНЕМОМЕТРИИ,
ФОРМИРОВАНИЕ ТРЁХМЕРНОГО ИЗОБРАЖЕНИЯ ЗЕМНОЙ ПОВЕРХНОСТИ В БОРТОВОЙ ДОПЛЕРОВСКОЙ РАДИОЛОКАЦИОННОЙ СТАНЦИИ,
...
Резюме по документу**
Методом многоугловой эллипсометрии изучены фазово-структурные превращения, протекающие при термическом отжиге в воздушной среде вакуумно осаждённых плёнок SiOx. <...> Анализ экспериментальных результатов с помощью набора оптических моделей, учитывающих неоднородность и анизотропность, позволил получить сведения о влиянии конкурирующих процессов фазового разложения и окисления плёнок SiOx на макро- и микроструктуру формирующихся систем в интервале температур отжига 650–1000 С. <...> Методом многоугловой эллипсометрии изучены фазово-структурные превращения, протекающие при термическом отжиге в воздушной среде вакуумно осаждённых плёнок SiOx. <...> Анализ экспериментальных результатов с помощью набора оптических моделей, учитывающих неоднородность и анизотропность, позволил получить сведения о влиянии конкурирующих процессов фазового разложения и окисления плёнок SiOx на макро- и микроструктуру формирующихся систем в интервале температур отжига 650–1000 С. <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: