Использование пироэлектрического приемника для изучения процесса синтеза пленок нитрида углерода методом импульсного лазерного осаждения
            Впервые быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). Измерения осуществляли в реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. Исследована динамика осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. Показано, что в двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN.
            Авторы
            
            Тэги
            
            Тематические рубрики
            
            Предметные рубрики
           
            В этом же номере:
            
            Резюме по документу**
            
                Впервые быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). <...> Измерения осуществляли в реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. <...> Исследована динамика осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. <...> Показано, что в двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN. <...> Впервые быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). <...> Измерения осуществляли в реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. <...> Исследована динамика осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. <...> Показано, что в двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN. <...> 
            
            ** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
            Похожие документы: