Использование пироэлектрического приемника для изучения процесса синтеза пленок нитрида углерода методом импульсного лазерного осаждения

Впервые быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). Измерения осуществляли в реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. Исследована динамика осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. Показано, что в двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN.

Авторы

Тэги

импульсное лазерное осаждение нитрид углерода пироэлектрический приемник пленки нитрида углерода синтез пленок

Тематические рубрики

Прикладные науки. Медицина. Технология

Предметные рубрики

В этом же номере:

Уравнения поступательной релаксации в стационарной сверхзвуковой струе смеси одноатомных газов, Евдокия Михайловна Соколовская, ...

Резюме по документу**

Впервые быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). <...> Измерения осуществляли в реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. <...> Исследована динамика осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. <...> Показано, что в двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN. <...> Впервые быстродействующий пироэлектрический приемник использован для изучения синтеза пленок методом импульсного лазерного осаждения (ИЛО). <...> Измерения осуществляли в реальных условиях осаждения пленок нитрида углерода. <...> Исследована динамика осаждения частиц и индуцированного ими нагрева подложки. <...> Показано, что в двухимпульсном режиме ИЛО реализуются эффективная доставка прекурсорных молекул из газовой фазы на подложку и новый канал синтеза молекул CN. <...>

** - вычисляется автоматически, возможны погрешности

Похожие документы:

Похожие документы из РУАЭСТ
|
Похожие документы из Руконт

Использование пироэлектрического приемника для изучения процесса синтеза пленок нитрида углерода методом импульсного лазерного осаждения

Помощь:

Участники: