Шарик-травильщик
Про узоры на пластинах из монокристаллов.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
КОРОТКИЕ ЗАМЕТКИ
Шарик-травильщик
Обычно узоры на пластинках из монокристаллов кремни я травят
в чистых комнатах и с применением методов микроэлектроники. <...> Эрик Сяо писал диплом о том, как надо прикреплять к монокристаллической
пластинке кремния микрошарики полистирола: он
хотел научиться получить на ней наноструктуры заданного размера. <...> Однажды, видимо не найдя в себе сил оторваться от компьютера,
Эрик попросил сокурсницу Ниту Чатурведи положить подготовленную
пластинку в вакуумную печку и аккуратненько ее погреть. <...> А
девушка была занята собственными мыслями и опустила пластинку
в заполненный водой автоклав, которым обычно пользуются биологи,
а затем поставила его на небольшой нагрев. <...> Но время у студентов было, и они сунули извлеченную
из автокалава пластинку под атомно -силовой микроскоп. <...> Каково
же было их удивление, когда вместо расползшихся по поверхности
полимерных блинов на экране микроскопного монитора возникли
ряды одинаковых лунок нанометрового размера с правильной
огранкой — в виде призмы (тут надо добавить, что при точечном
травлении монокристалла всегда поначалу получаются не округлые,
а ограненные углубления). <...> Сами студенты объяснения
придумать не
смогли и пошли к научным
руководителям. <...> Оказывается, на
поверхности полистирола были пришиты функциональные группы
амидина — с их помощью Эрик надеялся покрепче зацепить микрошарик
за слой оксида кремния, который покрывал поверхность
пластинки. <...> А тот вступил в реакцию с кремнием и вытравил в нем ямку точно
под полистироловым микрошариком. <...> Так был открыт способ безмасочного
травления наноузоров на кремнии («Nano Letters», 2011, т. <...> С его помощью
можно легко делать узоры на многих материалах, в том числе
на гнутых поверхностях, обходясь без дорогостоящей рентгеновской
литографии или травления пучком электронов». <...> Анофелес
62
...спутник «Glory» стоимостью в 424 млн.
долларов, целью которого было изучение
Солнца и земной атмосферы, из-за технической <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: