Погрешность определения состава загрузки для роста слитков мультикристаллического кремния

мультикристаллический кремний концентрация носителей заряда удельное электрическое сопротивление погрешность.

Прогнозирование энергопотребления и идентификация проблем эффективного использования топливно-энергетических ресурсов, Координатный метод синхронизации и распознавания двоичных составных кодовых последовательностей, ...

УДК 53.088 Погрешность определения состава загрузки для роста слитков мультикристаллического кремния И. <...> Н.Э. Баумана, Калуга, 248000, Россия Описана методика и приведены результаты расчета погрешности определения целевой концентрации носителей заряда. <...> Определены основные параметры, которые влияют на погрешность измерения удельного электрического сопротивления на слитке, полученном при использовании описанной в статье загрузки для его роста. <...> В связи с этим при росте слитков одним из основных критериев их качества является точность достижения требуемых электрофизических параметров, в частности удельного электрического сопротивления . <...> Исходя из этого, одной из важнейших является задача определения погрешности вычисления на этапе подготовки загрузки для роста слитка мультикристаллического кремния с заданными параметрами. <...> т. е. состоит из нескольких частей исходного кремния p- и n-типа проводимости. <...> В рамках данной статьи принято, что части загрузки n-типа легированы элементом VA группы (фосфором), а части р-типа — элементом IIIA группы (бором). <...> После определения состава и массы частей загрузки, поступающих на выращивание, рассчитывают требуемое количество лигатуры, необходимое для достижения заданного значения в слитке. <...> И.С. Кутовой, И.Н. Радченко Лигатура и компоненты загрузки поступают c измеренными значениями удельного сопротивления, которые для дальнейших расчетов необходимо перевести в концентрации носителей заряда по соответствующим формулам стандарта ASTM F723. <...> Аналогично, исходя из требуемого значения в готовом слитке, следует определить целевую концентрацию целC носителей заряда. <...> Массу лигатуры, необходимую для достижения требуемой концентрации цел,C рассчитаем по формуле [1] заг цел бор Mлиг MC K M C K M C фос ij pp CK ii лиг бор где M лиг , M заг — массы лигатуры и загрузки соответственно, кг; С цел — расчетная целевая концентрация носителей заряда, ат/см3; pij, CCpij , n — концентрации <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт