Эффективный метод производства flip–chip-компонентов
Проведен анализ известных методов сборки полупроводниковых приборов с помощью монтажа flip–chip и выявлены их основные недостатки. Предложена методика ормирования шариковых выводов, позволяющая значительно повысить эффективность сборки интегральных микросхем. Осуществлен подбор материалов для формирования ассива шариковых выводов, а также определены режимы формирования контактов. Особое внимание уделено установлению технологических параметров применительно к рупносерийному производственному оборудованию, что является существенным заделом для практического применения метода.Предложенный метод можно использовать ак при производстве корпусных интегральных микросхем, так и при бескорпусном монтаже полупроводниковых электронных устройств на печатные платы и гибридные нтегральные микросхемы.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Н.Э. Баумана, Калуга, 248000, Россия
2 ОАО «КНИИТМУ», Калуга, 248000, Россия
Проведен анализ известных методов сборки полупроводниковых приборов с помощью
монтажа flip–chip и выявлены их основные недостатки. <...> Предложена методика
формирования шариковых выводов, позволяющая значительно повысить эффективность
сборки интегральных микросхем. <...> Осуществлен подбор материалов для
формирования массива шариковых выводов, а также определены режимы формирования
контактов. <...> Предложенный метод можно использовать как при производстве корпусных интегральных
микросхем, так и при бескорпусном монтаже полупроводниковых
электронных устройств на печатные платы и гибридные интегральные микросхемы. <...> Технология поверхностного монтажа существует более 20 лет, но
процесс еще не исчерпал своего потенциала. <...> Flip–chip-монтаж бескорпусных
интегральных схем является одним из способов миниатюризации
изделий электроники. <...> Первая информация о монтаже
flip–chip появилась еще в середине 1980-х годов. <...> Строение столбикового вывода [2]:
1 — слой алюминия; 2 — адгезионный слой
ванадия; 3 — пассивирующий слой ванадия;
4 — гальванический медный столбик; 5 —
припой ПОС-61; 6 — гальванический припой
Sn–Bi; 7 — фоторезист; 8 — напыленный
слой меди; 9 — слой SiO2
Предложенные на рис. <...> 1 и 2 способы характеризуются высокой
трудоемкостью и энергоемкостью, что обусловлено большим количеством
переходных слоев, получаемых вакуумными методами
напыления, и наличием гальванических покрытий. <...> Следующий этап в развитии группового метода сборки полупроводниковых
приборов по технологии flip–chip связан с использованием
новых материалов для формирования металлизации на поверхности
интегральных микросхем. <...> Медная металлизация позволила
значительно сократить технологический процесс сборки приборов
благодаря применению готовых припойных шариков. <...> Flip–chip-монтаж с применением припойных шариков:
а — полупроводниковая чип-структура с медной металлизацией; б — установка <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: