Метод измерения распределения толщин ITO-покрытий с помощью акустооптического видеоспектрометра
Описан принцип работы акустооптического спектрометра изображений и методика определения с его помощью распределения толщины тонких пленочных покрытий.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
Метод измерения распределения толщин ITO-покрытий с помощью акустооптического… <...> УДК 534:535
Метод измерения распределения толщин
ITO-покрытий с помощью акустооптического
видеоспектрометра
А.В. Перчик, В.Л. Толстогузов, К.В. Стасенко, В.Г. Цепулин
МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия
Описан принцип работы акустооптического спектрометра изображений и методика
определения с его помощью распределения толщины тонких пленочных покрытий. <...> В данной работе на основе акустооптического фильтра изображений
создана экспериментальная установка для определения пространственного
распределения толщин тонких пленочных ITO-покрытий
бесконтактным спектральным оптическим методом. <...> Акустооптические
видеомонохроматоры предназначены для выделения из светового потока
с широким спектром узкого спектрального диапазона и перестройки
центральной длины волны этого диапазона в соответствии с
управляющим сигналом [1]. <...> Принцип работы акустооптического фильтра заключается в
том, что длины волн света и ультразвука связаны с углом падения
светового пучка на акустический волновой фронт условием Брэгга. <...> А.В. Перчик, В.Л. Толстогузов, К.В. Стасенко, В.Г. Цепулин
Если на акустооптическую ячейку падает световой поток со сплошным
спектром, то в дифракции принимает участие и рассеивается
ультразвуком лишь свет, длина волны которого удовлетворяет условию
Брэгга на заданной акустической частоте. <...> При неизменном угле
падения света и вариациях частоты ультразвука происходит перестройка
устройства, так как условие Брэгга становится справедливым
уже для света с другой длиной волны. <...> Основные характеристики фильтров — полоса пропускания Δλ и
разрешение R = λ/Δλ — определяются числом периодов фазовой
структуры на длине взаимодействия света и ультразвука. <...> В акустооптических
фильтрах используется анизотропная дифракция в двулучепреломляющих
кристаллах (рис. <...> На акустооптическую ячейку 3
падает плоскополяризованный свет, степень <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: