Методы получения и результаты исследования свойств графена

графен транзисторная структура на основе графена атомно-силовая микроскопия (АСМ) спектроскопия комбинационного рассеяния света (КРС) микрорамановское картирование химическое осаждение из газовой фазы (CVD) полиметилметакрилат (ПММА)

Иерархический метод анализа функционирования программного обеспечения на основе сети Петри, Акустическая резонансная частота химических реакций, ...

УДК 621.38 Методы получения и результаты исследования свойств графена Я.Б. Волкова, Е.В. Резчикова, В.А. Шахнов МГТУ им. <...> Н.Э. Баумана, Москва, 105005, Россия Рассмотрены методы получения и структуризации графеновых пленок. <...> Дано описание интегральной методики исследования графена, синтезированного путем однократного напуска ацетилена методом CVD, определяющим топологию, количество слоев, внедрение химических примесей, дефектов структуры и поверхностных напряжений в графене. <...> Приведены результаты исследований тестовых структур графена методом «полуконтактной» атомно-силовой микроскопии в сочетании с методом конфокальной микроскопии комбинационного рассеяния света. <...> Ключевые слова: графен, транзисторная структура на основе графена, атомно-силовая микроскопия (АСМ), спектроскопия комбинационного рассеяния света (КРС), микрорамановское картирование, химическое осаждение из газовой фазы (CVD), полиметилметакрилат (ПММА). <...> Это позволяет утверждать, что графен является весьма перспективным материалом для построения высокочастотного полевого транзистора [2]. <...> Основным препятствием служит то, что значительная часть времени и усилий уходит на процесс «расслаивания» углерода и получение графеновых пленок в случае механического расщепления графена. <...> Метод CVD-синтеза позволяет с большей эффективностью, производительностью и с использованием существующего оборудования и материалов получать графен [3]. <...> Я.Б. Волкова, Е.В. Резчикова, В.А. Шахнов Тестовые образцы для исследований графеновых пленок изготавливались на базе Института проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН), г. Черноголовка, в Лаборатории высококачественных и совершенных пленок. <...> Этот метод хорошо зарекомендовал себя для получения однослойного графена с целью изучения его физико-механических свойств, но использовать его для получения опытных образцов с повторяемыми характеристиками и с заданной топологией <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт