Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света оптически одноосным двумерным кристаллом

эллипсoметр рассеяние света двумерные кристаллы мониторинг высокие технологии

ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЕ ЯДРО РАСПРЕДЕЛЕННОЙ САПР КАК ОСНОВА СОВРЕМЕННОЙ ТЕХНОЛОГИИ ИНЖЕНЕРНОГО ОБРАЗОВАНИЯ, Методика расчета объективов с зеркалами манжена на основе трехзеркальной системы с эксцентрично расположенным полем изображения, ...

УДК 535.51; 621.382 Лазерный хoлoэллипсoметр рассеяния света оптически одноосным двумерным кристаллом <...> Представлен лазерный хoлoэллипсoметр практически нoрмального рассеяния света образцом оптически одноосного двумерного кристалла. <...> Устройство позволяет получать в реальном времени полный набор требуемых параметров оптически прозрачного образца для реализации мониторинга создания и обработки двумерных кристаллов, используемых в качестве элементной базы в высоких технологиях. <...> Эффективные средства реализации мониторинга создания и обработки двумерных кристаллов (ДК) необходимы высоким технологиям нашего времени [1—3]. <...> ДК интересны для нано-технологий, использующих квантовое копирование тел из малого числа частиц, которое открывает возможность создания изделия эффективно и с особо высокой точностью [3]. <...> Необходимые на практике свойства ДК получают при надлежащем контроле их синтеза. <...> Важным для нанотехнологий является монитoринг ДК регистрацией поляризованного рассеянного света [5] от оптически анизотропных одноосных ДК, причем весьма удачную его реализацию может предоставить развиваемая авторами данной статьи холоэллипсометрия со всеми ее аппаратными средствами [6, 7]. <...> Лазерный холоэллипсометр почти нормального рассеяния света оптически одноосным двумерным кристаллом (оптическая схема и рабочие связи между элементами устройства). <...> Вариант схемотехнической и функциональной организации лазерного устройства для анализа поляризации рассеянного света, известного в зарубежной научной литературе как скаттерометр [8], представлен оптической схемой на рисунке в аспекте развиваемых нами неинтерференционных холоэллипсометров [6]. <...> 2013 1 КП Оптическая схема лазерного холоэллипсометра практически нормального рассеяния света образцом оптически одноосного двумерного кристалла: Л — источник света (лазер); СД — входной светоделитель; ФПi — фотоприемник отклоняемого СДi пучка света; БМП — бинарный <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт