МЕТОД РАСЧЕТА ОПТИМАЛЬНОЙ ОТКАЧНОЙ ХАРАКТЕРИСТИКИ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА
Приведены результаты расчета оптимальной характеристики вакуумного турбомолекулярного насоса (ТМН), обеспечивающего заданную быстроту откачки в широком диапазоне давлений на стороне всасывания. Представлены рекомендации по проектированию ТМН, работающего в том числе в области сверхвысокого вакуума.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
К . Е . Демихов , А . А . Очко в
МЕТОД РАСЧЕТА ОПТИМАЛЬНОЙ ОТКАЧНОЙ
ХАРАКТЕРИСТИКИ ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНОГО
ВАКУУМНОГО НАСОСА
Приведены результаты расчета оптимальной характеристики вакуумного
турбомолекулярного насоса (ТМН), обеспечивающего заданную
быстроту откачки в широком диапазоне давлений на стороне
всасывания. <...> Представлены рекомендации по проектированию ТМН,
работающего в том числе в области сверхвысокого вакуума. <...> E-mail: kdemikhov@yandex.ru
Ключевые слова: высоковакуумный механический насос, откачная
характеристика, быстрота откачки, давление всасывания,
газовыделение. <...> Турбомолекулярные насосы (ТМН) относятся к группе высоковакуумных
средств откачки. <...> Среди их основных преимуществ можно
выделить относительно высокие значения быстроты откачки в достаточно
широком диапазоне давлений по различным газам, практически
отсутствие загрязнений откачиваемого объема органическими
соединениями и относительно малые габаритные размеры. <...> На основании теоретических и экспериментальных исследований
создана теория процессов в рабочих полостях ТМН, проверенные
методы расчетов их оптимальных параметров, разработана и внедрена
отечественная система автоматизированного проектирования
высоковакуумных механических насосов (к ним относятся и ТМН). <...> В современных условиях весьма актуальным требованием,
предъявляемым к разработке перспективных средств откачки, является
оптимизация их основных параметров. <...> Разработанные методы
расчета ТМН [1, 2] позволяют определять оптимальные характеристики
для заданных параметров откачки – быстроты откачки Sн и
давления p газа на стороне всасывания. <...> Это связано с тем, что, например, при увеличении
p в проточной части насоса могут изменяться режимы течения
газа. <...> Поэтому при обеспечении заданного значения быстроты откачки неизбежно возрастают размеры межлопаточных каналов колес ТМН, параметры колес и их число в проточной части. <...> При уменьшении же значения p возрастают <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: