РАСЧЕТ ОТКАЧНЫХ ПАРАМЕТРОВ МОЛЕКУЛЯРНО-ВЯЗКОСТНОГО ВАКУУМНОГО НАСОСА
Рассмотрено влияние основных параметров проточной части молекулярно-вязкостного вакуумного насоса на его откачные характеристики при работе в области молекулярного режима течения газа. На основании расчета по статистической математической модели представлены рекомендации для обеспечения необходимых геометрических параметров проточной части.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
К. Е. Демихо в , Н. К. Никулин , А. В. Дронов
РАСЧЕТ ОТКАЧНЫХ ПАРАМЕТРОВ
МОЛЕКУЛЯРНО-ВЯЗКОСТНОГО ВАКУУМНОГО
НАСОСА
Рассмотрено влияние основных параметров проточной части молекулярно-вязкостного
вакуумного насоса на его откачные характеристики
при работе в области молекулярного режима течения газа. <...> На основании расчета по статистической математической модели
представлены рекомендации для обеспечения необходимых геометрических
параметров проточной части. <...> Е-mail: nkn@bmstu.ru, dronov_a@mail.ru
Ключевые слова: молекулярно-вязкостный вакуумный насос, метод
статистических испытаний, геометрические параметры,
вероятность, максимальное быстродействие, отношение давлений,
рекомендации, канал. <...> Основными параметрами, характеризующими работу молекулярных
вакуумных насосов (МВН), являются максимальная быстрота
действия Smax и максимальное отношение давлений τmax:
τ kk
=
max
36,4
max
SFkmax T M ;
=
12 21
,
где F – площадь входа в канал, м2; kmax – максимальная вероятность
перехода молекулы газа через канал со стороны всасывания на сторону
нагнетания, kmax = k12 – k21; k12, k21 – вероятности перехода молекулы
газа через канал соответственно со стороны всасывания на
сторону нагнетания и со стороны нагнетания на сторону всасывания;
T – температура газа, K; M – молекулярная масса газа. <...> Приведенные соотношения описывают и работу молекулярновязкостного
вакуумного насоса (МВВН). <...> Основное отличие МВВН
заключается в конструкции его проточной части, выполненной в виде
двух спиральных каналов: одна спираль размещена на роторе, другая –
на статоре. <...> Конструктивные схемы проточных частей МВВН представлены
на рис. <...> Вероятности k12 и k21 для молекулярного режима течения газа вычисляются
на основании математических моделей, приведенных в
работах [1, 2]. <...> Конструктивные схемы МВН:
а – насос Геде (1 – отсекатель; 2 – всасывающий патрубок; 3 – нагнетательный патрубок;
4 – корпус; 5 – ротор; 6 – опоры качения); б – насос Зигбана (1 – всасывающий
патрубок; 2, 3 – левый <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: