ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ СУБМИКРОННЫХ ПЛЕНОК ТЕЛЛУРИДА ВИСМУТА МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Использование наноразмерных термоэлектрических структур — перспективное направление развития конструкций термоэлектрических модулей. Тонкопленочные структуры теллурида висмута были получены в МГТУ им. Н.Э. Баумана методом импульсного лазерного осаждения. Проанализированы толщины и поверхности осажденных при различных режимах структур теллурида висмута. Приведена зависимость толщины осажденного слоя от температуры нагревателя и энергетических параметров лазерного излучения. Даны общие оценки стехиометрической однородности пленок в зависимости от режимов осаждения.
Авторы
Тэги
Тематические рубрики
Предметные рубрики
В этом же номере:
Резюме по документу**
А.Е. Шупене в
ОСОБЕННОСТИ ФОРМИРОВАНИЯ
СУБМИКРОННЫХ ПЛЕНОК ТЕЛЛУРИДА
ВИСМУТА МЕТОДОМ ИМПУЛЬСНОГО
ЛАЗЕРНОГО ОСАЖДЕНИЯ
Использование наноразмерных термоэлектрических структур —
перспективное направление развития конструкций термоэлектрических
модулей. <...> Тонкопленочные структуры теллурида висмута были
получены в МГТУ им. <...> Проанализированы толщины и поверхности осажденных
при различных режимах структур теллурида висмута. <...> Приведена зависимость
толщины осажденного слоя от температуры нагревателя
и энергетических параметров лазерного излучения. <...> Даны общие
оценки стехиометрической однородности пленок в зависимости от
режимов осаждения. <...> Современные тенденции миниатюризации в электронике и технике
приводят к необходимости поиска новых способов обеспечения
эффективного теплоотвода нагревающихся элементов конструкции,
предъявляя все более жесткие технологические ограничения для конструкций
теплообменников. <...> Эффект Пельтье (1834), заключающийся
в выделении или поглощении теплоты при прохождении электрического
тока в месте контакта (спая) двух разнородных проводников,
позволил создать термоэлектрические модули, применяемые в настоящее
время во многих областях техники и электроники. <...> Однако возникает вопрос о повышении термоэлектрической
эффективности работы подобных модулей. <...> Полупроводниковые материалы на основе теллурида висмута
(Bi2Te3) широко используются в термоэлектрических преобразователях
энергии, холодильниках, термостатах благодаря высоким значениям
термоэлектрической эффективности [1]. <...> Интерес к тонким и сверхтонким
пленкам указанных полупроводников обусловлен перспективами создания
миниатюрных устройств с более высокими функциональными
возможностями. <...> Получение тонких пленок теллурида
висмута традиционным методом термического испарения в вакууме
сопряжено с трудностями, связанными с высоким парциальным давлением
паров халькогена. <...> В результате потери легколетучего <...>
** - вычисляется автоматически, возможны погрешности
Похожие документы: