Изучена смачиваемость и краевой угол смачивания поверхностей полимеров, используемых для структурированиямикрофлюидных биохимических модулей методом ЛИГА технологии – рентгеноЛИтография, ГАльванопластика и формовка полимерных изделий. Методика определения величин включает измерение геометрии калиброванных капель жидкости на поверхности с помощью оптического микроскопа. Химический атомарный состав поверхностных слоёв полимеров характеризован методом рентгеновской флуоресценции, инициируемой электронным лучом сканирующего микроскопа. В работе обсуждаются особенности смачивания микроканалов в оргстекле, оптическом силиконе, фторопласте, полимерном SU-8 и каптоне с целью конструирования микро модуля для системного анализа взаимодействия реагентов в биохимических водных растворах.