Электрохимическое осаждение меди на титан и тантал из низкотемпературного ионного расплава бромид 1-бутил-3-метилимидазолия - бромид меди (II)

электрохимическое осаждение ионные жидкости бромиды меди медные покрытия тантал титан микроэлектронная техника защита металлов

Диффузное равновесие процесса массообмена в системе "твердое тело-жидкость", Синтез и электрохимическое поведение новых сопряженных мономеров, содержащих пиримидиновые фрагменты, ...

1 ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕДИ НА ТИТАН И ТАНТАЛ ИЗ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОГО ИОННОГО РАСПЛАВА БРОМИД 1-БУТИЛ-3-МЕТИЛИМИДАЗОЛИЯ – БРОМИД МЕДИ (II) 2Ивановский государственный химико-технологический университет) e-mail: epg@isc-ras.ru (1Институт химии растворов РАН, Изучен процесс электрохимического осаждения медных покрытий на титане и тантале с использованием бинарной ионной жидкости бромид 1-бутил-3метилимидазолия – бромид меди (II). <...> Показано, что при оптимальных условиях ведения процесса возможно получение светлых полублестящих слоев меди с хорошей адгезией к основе без специальной химической подготовки поверхности. <...> Ключевые слова: ионная жидкость, 1-бутил-3-метилимидазолия бромид, медное покрытие, электрохимическое осаждение, тантал, титан Повышение быстродействия и мощности изделий микроэлектронной техники возможно при замене алюминиевых межсоединений на медные или серебряные. <...> Тонкие оксидные пленки, которые образуются на поверхности Ta и Ti на воздухе и водной среде, препятствуют хорошей адгезии толстого слоя электропроводящего металла. <...> В настоящее время для микроэлектронной техники разработаны и применяются несколько способов металлизации тантала и титана, в том числе электрохимический метод [1, 2]. <...> Хорошую перспективу применения для этих целей имеют ионные жидкости (расплавленные при комнатной температуре соли) – сравнительно новый класс органических растворителей. <...> Исследования последних лет в области электрохимического применения ионных жидкостей (ИЖ) показали, что такие электролитные системы могут быть успешно использованы для электрохимического осаждения различных металлов и сплавов [5-10]. <...> 7 еще немногочисленные эксперименты по прямому осаждению меди на тантал из ионных жидкостей показывают, что, например, при осаждении в вакууме при температуре 100С возможно получение поликристаллических осадков меди с хорошей адгезией к танталу [11]. <...> Цель данной работы – изучение закономерностей <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт