Алмазосодержание пленки с микро- и нанокристаллической структурой, выращенные из активируемой газовой фазы

алмазосодержащие пленки нанокристаллические алмазные пленки синтез нанопленок нанопленки нанокристаллические структуры газофазное осаждение алмазные пленки

Измельчение скрытокристаллического графита при вскипании воды в порах, Способ удаления бензпирена при производстве анодного углеродного материала, в том числе и при производстве графита, ...

Соколина, А.В. Шапагин, Б.В. Спицын АЛМАЗСОДЕРЖАЩИЕ ПЛЕНКИ С МИКРО- И НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРОЙ, ВЫРАЩЕННЫЕ ИЗ АКТИВИРУЕМОЙ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ (Институт физической химии и электрохимии им. <...> А.Н.Фрумкина РАН, г. Москва) e-mail: spitsyn@phyche.ac.ru, bspitsyn@yahoo.com Из смеси метана и водорода химическим газофазным осаждением выращены алмазные пленки с микро- и наноструктурой. <...> Для активации процесса использовали аномальный тлеющий разряд постоянного тока. <...> Ключевые слова: алмаз, нанокристаллические алмазные плёнки, синтез, метод CVD, подложка ВВЕДЕНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ Нанокристаллические алмазные пленки (НАП) являются, с одной стороны, интересным объектом для изучения проблем кристаллизации алмаза, а с другой стороны, перспективным материалом для применений в различных областях техники. <...> Однако, остается довольно много вопросов, связанных с условиями возникновения нанокристаллического алмаза и их влиянию на свойства НАП [9]. <...> В большей части опубликованных работ НАП выращены методом CVD с использованием газовой смеси из углеводорода, аргона и водорода, и в них формирование НАП объясняется наличием аргона и влиянием димера углерода. <...> [6-8] НАП получены методом CVD из газовых смесей без аргона и рассмотрен ряд возможных механизмов формирования таких пленок. <...> В нашей работе алмазные пленки с наноразмерной структурой получены методом CVD из смеси метан/водород с использованием для активации газовой фазы аномального тлеющего разряда постоянного тока. <...> Для анализа поверхностной морфологии пленок применены зондовый микроскоп Multimode фирмы Veeco, США и электронный сканирующий микроскоп JEOL-JSM-6490LV. <...> Спектры комбинационного рассеяния света (КРС) в выращенных пленках получены на установке Senterra фирмы Bruker с использованием для возбуждения излучения с длиной волны 532 и 785 нм. <...> Пленка имеет толщину порядка 2 мкм и поэтому рефлексы вольфрамовой подложки и карбидов вольфрама имеют высокую интенсивность. <...> Довольно высокая интенсивность <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт