Кинетические и транспортные характеристики процессов под действием электронного удара в НВr

сечение соударения электронные удары распределение электронов бромистый водород транспортные характеристики плазмохимические технологии

Особенности расчета оптимальных технологических и конструктивных параметров мультиплексных червячных агрегатов для соэкструзии резиновых смесей, Исследование 1, 1-диэтоксиэтана как компонента дизельного топлива, ...

А.А. Смирнов, А.М. Ефремов, В.И. Светцов КИНЕТИЧЕСКИЕ И ТРАНСПОРТНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ПРОЦЕССОВ ПОД ДЕЙСТВИЕМ ЭЛЕКТРОННОГО УДАРА В HBr (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: efremov@isuct.ru Сформирован набор сечений процессов под действием электронного удара для молекулы HBr. <...> Проведены расчеты функции распределения электронов по энергиям, транспортных характеристик электронов и констант скоростей процессов при электронном ударе при решении стационарного кинетического уравнения Больцмана в однокомпонентном приближении. <...> Ключевые слова: сечения соударения, электронный удар, функция распределения электронов по энергиям, бромистый водород ВВЕДЕНИЕ Низкотемпературная газоразрядная плазма галогенсодержащих газов нашла широкое применение в технологии микро- и наноэлектроники при проведении процессов «сухого» травления полупроводниковых пластин и функциональных слоев в тех случаях, когда жидкостные методы не удовлетворяют требованиям по чистоте, разрешению и воспроизводимости процесса [1]. <...> В последнее время большое внимание специалистов в области плазмохимической технологии уделяется галогенводородам HX (X = F, Cl, Br, I). <...> Одной из причин недостаточного применения является отсутствие надежных данных по кинетическим характеристикам процессов под действием электронного удара, инициирующих образование активных частиц плазмы. <...> Целью данной работы являлось формирование набора сечений процессов под действием электронного удара для молекул HBr, а также первичный анализ влияния электрофизических параметров системы на кинетику процессов при электронном ударе. <...> МЕТОДИЧЕСКАЯ ЧАСТЬ Моделирование характеристик электронного газа проводилось в однокомпонентном приближении по нейтральным невозбужденным частицам. <...> Допустимость такого подхода ограничена диапазоном условий, обеспечивающим степени диссоциации молекул HBr (менее 10%). <...> Алгоритм моделирования базировался на решении <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт