Влияние состава газа на кинетические характеристики электронов в низкотемпературной плазме смеси Ar-O[2]

аргон кислород смесь аргона с кислородом плазмообразующие газы состав газов кинетические характеристики плазмы смесей

Нитримины. VI. Нитрование 1-фенил-2-нитрогуанидина и его нитропроизводных смесями азотной кислоты и уксусного ангидрида, Растворимость ацетил- и диацетилферроцена в диметилформамиде и его смесях с водой, ...

А.Н. Иванов, С.А. Смирнов, В.В. Рыбкин ВЛИЯНИЕ СОСТАВА ГАЗА НА КИНЕТИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭЛЕКТРОНОВ В НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЙ ПЛАЗМЕ СМЕСИ Ar-O2 (Ивановский государственный химико-технологический университет) E-mail: rybkin@isuct.ru На основе решения уравнения Больцмана и измеренных приведенных напряженностей электрических полей проведены расчеты функций распределения электронов по энергиям (ФРЭЭ) и кинетических характеристик электронов для плазмы разряда постоянного тока в смеси Ar-O2. <...> Показано, что при заданном токе разряда и давлении увеличение содержания кислорода приводит к уменьшению концентрации электронов и экстремальной зависимости констант скоростей процессов с участием электронов. <...> Смеси аргона с кислородом в качестве плазмообразующего газа интересны как для технологических приложений, так и для научных целей. <...> Инициирование процессов образования активных частиц в плазме происходит под действием электронного удара. <...> Для их оптимизации необходимы сведения о ФРЭЭ, которая в условиях плазмы является неравновесной, не максвелловской. <...> Неравновесная ФРЭЭ зависит как от приведенных напряженностей электрических полей E/N, реализующихся в плазме, так и от состава газа. <...> Выяснению вопроса о влиянии этих параметров на вид ФРЭЭ и посвящена данная работа. <...> Плазма разряда постоянного тока создавалась в стеклянном цилиндрическом проточном реакторе внутренним диаметром 3 см. Диапазон давлений составлял 50-300 Па, а токов разряда - 20-80 мА. <...> Температура газа Tg отождествлялась с вращательной температурой, определяемой по распределению интенсивностей вращательных линий в Р-ветви перехода b1Sg + X3Sg <...> Плазмообразующий газ готовился смешением аргона и кислорода в специальной емкости с контролем давления компонентов (массспектрометр МХ 7304). <...> При заданном составе газа и величине E/N численно решалось уравнение Больцмана в двучленном приближении разложения (ФРЭЭ) по сферическим гармоникам как описано в работе [4]. <...>

• Похожие документы из РУАЭСТ
• |
• Похожие документы из Руконт