ВЗАИМОДЕЙСТВИЕ ЖЕЛЕЗА И ТИТАНА С ТОНКИМИ ПЛЕНКАМИ ИХ ОКСИДОВ

Аннотация. Исследованы структурные превращения и перераспределение компонентов при отжиге в вакууме пленочных двухслойных структур титан — оксид железа и железо-оксид титана. Установлено, что в структуре Ti — Fe2O3 однородное распределение концентраций металлов по глубине пленки достигается при более низкой температуре изохронного отжига, чем в структуре Fe — Ti3O5. Формируются полупроводниковые пленки титанатов железа состава: Fe2TiO5.и Fe2Ti3O9. В структуре железо-оксид титана диффузия железа носит реакционный характер и сопровождается восстановлением титана из его оксида. Неоднородность пленок, полученных взаимодействием железа с оксидом титана, проявляется в температурной зависимости сопротивления, характер которой обратимо изменяется с металлического на полупроводниковый в ходе термоциклирования в диапазоне температур 293—823 К.

• Макаров А.С.
• ЛОБАНОВ М.В.
• Логачева В.А.
• Ховив А.М.
• Афонин Н.Н.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Естественные науки
• Науки о человеке