КИНЕТИКА РАСПРЕДЕЛЕНИЯ КОМПОНЕНТОВ В СИСТЕМЕ Al–Ga–As В СОВМЕЩЕННОМ ПРОЦЕССЕ ЖИДКОФАЗНОЙ ЭПИТАКСИИ И ГРАДИЕНТНОЙ ТЕРМОМИГРАЦИИ ЖИДКИХ ЗОН

Обсуждаются результаты прогнозирования состава и толщин эпитаксиальных слоев на основе кинетической модели, разработанной для технологического сочетания процессов жидкофазной эпитаксии и термомиграции зон раствора-расплава

• Благин А.В.
• Благина Л.В.
• Лозовский С.В.
• Архипова Н.Ю.
• Патаридзе З.Г.

• Прикладные науки. Медицина. Технология

• Технические науки. Промышленность