ТЕРМОДИНАМИЧЕСКИЕ ОГРАНИЧЕНИЯ ПО ПЛАВКОСТИ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ GaInBiAsSb НА ПОДЛОЖКАХ InSb

Проведен термодинамический анализ ограничения по плавкости твердых растворов GaInBiAsSb на подложках InSb. Рассчитаны бинодали и спинодали для твердых растворов GaInBiAsSb в области ограничения. На основе проведенного анализа методом зонной перекристаллизации градиентом температуры получены гетероструктуры GaInBiAsSb/InSb. Исследования состава эпитаксиальных слоев методом масс-спектрометрии вторичных нейтральных частиц показали, что в относительно толстых слоях ~10 мкм распределение элементов практически однородно, за исключением переходной области ~1 мкм. Оксидные и карбидные соединения элементов в объеме эпитаксиального слоя гетероструктуры не обнаружены

• Попов В.П.
• Лунина М.Л.
• Середин Б.М.
• Алфимова Д.Л.

• Общий отдел

• Технические науки. Промышленность