МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ И СВОЙСТВА ПЛЕНОЧНЫХ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР НА ОСНОВЕ СЛОЖНЫХ СОЕДИНЕНИЙ ИНДИЯ И ГАЛЛИЯ

Обсуждаются результаты исследований морфологии поверхности многокомпонентных эпитаксиальных слоев соединений А3В5, выращенных при различных условиях градиентной жидкофазной эпитаксии. Устновлены основные параметры, определяющие качество поверхности и структурное совершенство многокомпонентных гетероструктур соединений А3В5: градиент температуры, состав раствора-расплава, величина переохлаждения, согласование параметров решетки и КТР слоя и подложки, ориентация подложки

• Сысоев И.А.
• Благин А.В.
• Благин В.А.
• Лунина М.Л.
• Ващенко С.Н.

• Искусство. Декоративно-прикладное искусство. Фотография. Музыка. Игры. Спорт

• Технические науки. Промышленность