ИК СПЕКТРЫ НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИХ ITO ПЛЁНОК, ПОЛУЧЕННЫХ РЕАКТИВНЫМ ВЧ МАГНЕТРОННЫМ НАПЫЛЕНИЕМ С ИОННО-ЛУЧЕВОЙ ОБРАБОТКОЙШИРОБОКОВ Е.П.,Закирова Р.М.,Федотова И.В.,АКАШКИНА Р.Г.,КРЫЛОВ П.Н.
Химическая физика и мезоскопия, 2014, 2, С. 63-68
|