РУАЭСТ (RUAEST)
|
Тензорезистивные МЭМС-преобразователи давления и модули на их основеСуханов В.С.,Гусев Д.В.,Данилова Н.Л.,Литвиненко Р.С.,Михайлов Ю.А.,Панков В.В.
|