РУАЭСТ (RUAEST)
Статьи автора: Соколов Е.М.
Результатов найдено: 1
|
Исследование структурных свойств кремния на сапфире в процессе гидридно-хлоридной газофазной гетероэпитаксииСоколов Е.М.,Емельянов А.В.,Тимошенков С.П.,Стаценко В.Н.,Федотов С.Д.
|